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2021/4/2 17:36:46发布14次查看

深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材。低压气体中显示辉光的气体放电现象。在置有板状电极的玻璃管内充入低压(约几毫米汞柱)气体或蒸气,当两极间电压较高(约1000伏)时,稀薄气体中的残余正离子在电场中加速,有足够的动能轰击阴极,产生二次电子,经簇射过程产生更多的带电粒子,使气体导电。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。
辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区。因正离子的漂移速度远小于电子,故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化。
在阴极附近,二次电子发射产生的电子在较短距离内尚未得到足够的能使气体分子电离或激发的动能,所以紧接阴极的区域不发光。而在阴极辉区,电子已获得足够的能量碰撞气体分子,使之电离或激发发光。其余暗区和辉区的形成也主要取决于电子到达该区的动能以及气体的压强(电子与气体分子的非弹性碰撞会失去动能)。
辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应(如氖稳压管)。
日本的科学家采用 b i zo 作为 添加剂,b i 2 o3 在 8 2 0 c r 熔化,在 l 5 0 0℃的烧结温度超出部分已经挥发,这样能够在液相烧结条件下得到比较纯的 i t o靶材。而且所需要的氧化物原料也 不一定是纳米颗粒,这样可以简化前期的工序。采川
这样的靶材得到的 i t o 薄膜的屯阻率达到 8 . 1 ×1 0 n- c m,接近纯的 i t o薄膜 的电阻率。f p d和导电玻璃的尺寸都相当火,导电玻璃的宽 度甚至可以达到 3 1 3 3 _ ,为了提高靶材的利用率,开发 了不同形状的i t o靶材,如圆柱形等。2 0 0
0年,国家 发展计划委员会、科学技术部在《 当前优先发展的信 息产业重点领域指南》中, i t o大型靶材也列入其中。深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的靶材应用于平板显示与触控行业。

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